СПЕКТРОМЕТР ЭЛЕКТРОНОВ ОЖЕ типа ЭСО-3

Описание

Спектрометр (рис. 61) предназначен для прикладных научно-исследовательских работ в физике, химиии, материаловедении, полупроводниковой и

Рис. 61. Спектрометр электронов типа ЭСО-3

электровакуумной технике и производстве особо чистых материалов в условиях лаборатории.

Принцип действия прибора основан на измерении энергетических спектров вторичных электронов. Структурная схема спектрометра приведена на рис. 62. Спектрометр имеет восемь модификаций: четыре-с вакуумной системой; четыре-встраиваемые в вакуумную систему потребителя (из них две-с ЭВМ, две-без ЭВМ).

Технические характеристики

Энергетическое разрешение, измеренное на упругом пике, не более 0,3%. Наибольший диаметр пучка электронной пушки не более 5 мкм. Отношение двойной амплитуды Оже пика серебра с номинальным значением 562-10'19 Дж (351 эВ) не менее 40:1 при первичном токе 0,3 мкА, энергии первичных электронов 8000-10'19 Дж (5000 эВ). Предельное ос-

о __

таточное давление 6,5-10' Па. Количество режимов наблюдений образца в растре 3. Наибольшая плотность тока ионов на поверхности образца 1•10' А/см . Диапазон измеренных энергий электронов 40...5000 эВ. Питание-от сети переменного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц. Потребляемая мощность 20 кВ-А. Габаритные размеры: стойки управления вакуумной системой 575х680х1800 мм, измерительной стойки 800х580х1800 мм, телевизионной стойки 800х580х1800 мм, спектроскопического устройства 1540х890х1500 мм. Масса, соответственно, 300, 300, 300 и 500 кг.

Вероятность безотказной работы в течение 1000 ч не менее 0,85. Срок службы 8 лет. Гарантийный срок службы 18 мес.

Условия эксплуатации: температура окружающей среды 10...35°С, относительная влажность 80%.